制備高純氯氣的方法是什么？其方法是以工業(yè)氯為原料，經(jīng)干燥、吸附、冷凝，可制取高純氯。高純氯氣用作半導(dǎo)體材料的氣體刻蝕劑，特別是與三氯化硼混合可用作鋁的刻蝕；還可用于MCVD法生產(chǎn)單膜光纖預(yù)制件。
    1、以工業(yè)液氯為原料制備電子級氯氣的方法，由工業(yè)液氯氣化后經(jīng)多級物理干燥、吸附脫除二氧化碳、壓縮冷凝、精餾脫除氮氣、氧氣、氫氣、一氧化碳、甲烷等低沸點氣體制得99.999％以上的電子級高純氯氣。
    2、高純氯氣精餾工藝，將工業(yè)液氯輸送至汽化器，在1.2MPa下進入第一蒸餾塔，至第一蒸餾塔的液位達到85％；第一蒸餾塔變壓至1.0MPa，由第一冷凝器冷凝后進入第一回流罐，第一回流罐中60％的釜液輸送至第二蒸餾塔；第一回流罐中的液位30％-40％，第二蒸餾塔升壓至1.8MPa；第二冷凝器冷凝后的釜液回流至第二蒸餾塔，再進入第三蒸餾塔，控制第二蒸餾塔的液位為60-75％，至第三蒸餾塔的液位達到85％，對第三蒸餾塔升壓至1.5MPa；由第三冷凝器冷凝后進入第三回流罐，至純度達到99.9999％，第三回流罐的液位達到60％，第三回流罐中液氯純度為99.9999％，得到高純氯氣。
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