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高純液氯

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制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢(shì)
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制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢(shì)
    淄博言赫特氣有限公司現(xiàn)有年產(chǎn)2000噸高純氯化氫生產(chǎn)線,連續(xù)批量生產(chǎn)應(yīng)用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(jí)(VLSI)氯化氫,以及應(yīng)用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細(xì)化學(xué)品制造的2.8N(99.8%)化學(xué)級(jí)氯化氫氣體。
    電子及氯化氫在我們生活的各個(gè)領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景,它不僅是電子工業(yè)中制造大規(guī)模集成電路所需的重要材料之一,而且應(yīng)用于醫(yī)藥、化工、半導(dǎo)體行業(yè),因此需求量越來(lái)越大。
    目前已有研究人在研究制備過(guò)程中成功合成了電子級(jí)氯化氫,同時(shí)從這些合成方法中發(fā)現(xiàn)解析法和鹽酸脫析法制備氯化氫工藝簡(jiǎn)單課大規(guī)模生產(chǎn),但是制備的氯化氫純度偏低,越來(lái)越不滿足電子工業(yè),尤其是集成電路的要求。合成法生產(chǎn)氯化氫的純度偏高,但其中水量高,腐蝕嚴(yán)重,對(duì)設(shè)備要求高,生產(chǎn)成本高??紤]到環(huán)保以及工業(yè)副產(chǎn)品回收利用等多方面因素,制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢(shì),正如石油化工副產(chǎn)物氯化氫提純法。
    此提純法無(wú)需外加反應(yīng)介質(zhì),因而避免了其它雜質(zhì)介質(zhì)的引入,而且操作簡(jiǎn)單,生產(chǎn)成本低,但是在我國(guó)技術(shù)還不太成熟。我國(guó)的電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品大多從美,日等國(guó)進(jìn)口,價(jià)格昂貴。2003年10月我公司電子及氯化氫通過(guò)了北京市科委科技成果鑒定,獲得國(guó)家授權(quán)專(zhuān)利,具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。經(jīng)國(guó)內(nèi)外多家半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明,其主要性能技術(shù)指標(biāo)與國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品相當(dāng),填補(bǔ)了我國(guó)電子級(jí)氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白。
發(fā)布時(shí)間:2015-07-13 10:08:39
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